Ionska litografija – FIB
Leto nabave: 2012
Lokacija: Center odličnosti nanoznanosti in nanotehnologije (CO NIN)
Spletna stran: https://www.nanocenter.si/index.php?page=alias
Skrbnik: Miran Čeh
Dostop: prvi dostop glede na dogovor s skrbnikom, izučeni operaterji dostopajo prek rezervacijskega sistema
Namembnost: FIB je tehnika, ki se uporablja v industriji polprevodnikov, pri vedah o materialih in v biologiji za različne analize, nanašanja in ionsko jedkanje s pomočjo pospešenih ionov. Dvožarkovni sistem je znanstveni instrument, ki je sestavljen iz vrstičnega elektronskega mikroskopa (SEM) za opazovanje površine vzorcev in ionskega snopa za jedkanje oziroma rezanje.
Instrument se uporablja za izdelovanje različnih oblik in vzorcev na nanometerskem področju, za pripravo vzorcev za presevno elektronsko mikroskopijo (TEM), 3D tomografijo in nanašanje prevodnih oziroma neprevodnih tankih plasti s pomočjo ionskega snopa.
laboratorij za procesiranje in karakterizacijo nanodelcev
Leto nabave: 2011
Lokacija: Center odličnosti nanoznanosti in nanotehnologije (CO NIN)
Spletna stran: https://www.nanocenter.si/index.php?page=alias
Skrbnik: Darko Makovec
Dostop: prvi dostop glede na dogovor s skrbnikom, izučeni operaterji dostopajo prek rezervacijskega sistema
Namembnost: Oprema obsega laboratorij opremljen z degistoriji, procesno in merilno opremo: laserski granulometer in avtoklav.
Sistem za atomsko lasersko depozicijo
Leto nabave: 2013
Lokacija: Center odličnosti nanoznanosti in nanotehnologije (CO NIN)
Spletna stran: https://www.nanocenter.si/index.php?page=alias
Skrbnik: Jure Strle
Dostop: prvi dostop glede na dogovor s skrbnikom, izučeni operaterji dostopajo prek rezervacijskega sistema
Namembnost: Sistem atomske depozicije je namenjen nanašanju različnih atomskih plasti. Ker nameravamo v okviru CO preizkušati številne nove nanomateriale in njihovo potencialno rabo v industriji, bo sistem za atomsko depozicijo močno pospešil končno izdelavo prototipov. Obenem pa bo omogočal funkcionalizacijo nanomaterialov ter predhodno(z drugimi metodami) izdelanih tankih plasti in podobnih nanostrukturiranih sistemov. Tako obdelani sistemi so v današnjem času izredno zanimivi saj omogočajo enostavno izdelavo pod-nanometrskih komponent, ki so v zadnjem času predmet izjemnega zanimanja tako v raziskovalnih, kot tudi že v industrijskih krogih. Sistem za atomsko depozicijo je v veljavi že dolgo časa, danes pa se uporablja tudi pri razvoju in proizvodnji sodobne nano-elekronike na silicijevi osnovi.
RTA termično procesiranje
Leto nabave: 2010
Lokacija: Center odličnosti nanoznanosti in nanotehnologije (CO NIN)
Spletna stran: https://www.nanocenter.si/index.php?page=alias
Skrbnik: Dragan Mihailović
Dostop: prvi dostop glede na dogovor s skrbnikom, izučeni operaterji dostopajo prek rezervacijskega sistema
Namembnost: grelni sistem za hitro termalno obdelavo vzorcev z širokim temperaturnim razponom. Peč lahko greje od sobne temperature do 1200C z hitrostjo gretja 50K na sekundo.
Je majhna namizna peč za gretje vzorcev, ki niso večji od 20 x 20mm.
Sestavljena je iz kvarčne cevi katero lahko vakuumiramo ali jo napolnimo z želenim plinom. Trenutno imamo na voljo termično obdelavo v štirih različnih atmosferah. Lahko uporabimo kompresiran zrak za potrebe oksidacije ali pa jo napolnimo z inertnim plinom kot je dušik ali argon. Za potrebe redukcije je na voljo tudi nitrostar (90%N2,10%H2). Vakuum ki ga lahko dosežemo na tem sistemu je 10-5mbara.
Peč programiramo preko ugrajenega kontrolerja, za bolj zahtevne temperaturne režime pa preko računalnika. Na controlerju lahko spremljamo trenutno temperaturo na vzorcu in programirano temperaturo. V peč lahko sprogramiramo do 32 različnih temperaturnih korakov v enem programu.
Spektrograf z detektorjem
Leto nabave: 2013
Lokacija: Center odličnosti nanoznanosti in nanotehnologije (CO NIN)
Spletna stran: https://www.nanocenter.si/index.php?page=alias
Skrbnik: Igor Muševič
Dostop: prvi dostop glede na dogovor s skrbnikom, izučeni operaterji dostopajo prek rezervacijskega sistema
Namembnost: Optični spektrograf s kamero za bližnje infrardeče področje od 800 nm do 1700 nm. Spektrograf s kamero je vgrajen v obstoječi optični spektrografski sistem, ki je zgrajen okoli laserske pincete in trenutno omogoča spektralno analizo izsevane svetlobe v vidnem območju od 400 nm do 950 nm. Z vgradnjo dodatnega optičnega spektrografa in kamere za bližnje IR področje se poveča spektralni obseg merilnega instrumenta za istočasni zajem in analizo spektra izsevane svetlobe v področju od 400 nm do 1700 nm.
